EBARA荏原 渦輪分子泵 EBT220F

EBARA荏原 渦輪分子泵 EBT220F

EBARA荏原 渦輪分子泵 EBT220F

渦輪分子泵應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，渦輪分子泵用于光刻、薄膜沉積、離子注入和蝕刻等工藝，提供高潔凈度的真空環(huán)境。

科學(xué)研究：在粒子加速器、核聚變實驗、表面物理和材料科學(xué)等領(lǐng)域，渦輪分子泵用于實現(xiàn)高真空環(huán)境。

航空航天：用于模擬太空環(huán)境，測試航天器部件在真空條件下的性能。

光學(xué)鍍膜：在光學(xué)鏡片、濾光片和激光元件的鍍膜工藝中，渦輪分子泵提供無污染的真空條件。

分析儀器：用于質(zhì)譜儀、電子顯微鏡和同步輻射裝置等精密儀器中，確保高真空環(huán)境的穩(wěn)定性。

醫(yī)療設(shè)備：在放射性同位素生產(chǎn)和醫(yī)療成像設(shè)備中，渦輪分子泵用于維持高真空環(huán)境。

渦輪分子泵特點

高轉(zhuǎn)速：渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速通常高達(dá)每分鐘數(shù)萬轉(zhuǎn)，甚至過10萬轉(zhuǎn)，以確保氣體分子能夠被有效捕捉和排出。

無油污染：與油封式真空泵不同，渦輪分子泵在運行過程中無需油液潤滑，避免了油蒸氣對真空環(huán)境的污染，特別適合高潔凈度要求的應(yīng)用。

寬壓力范圍：渦輪分子泵能夠在高真空（10^-3 Pa至10^-10 Pa）范圍內(nèi)高效工作，與前置泵配合可實現(xiàn)從大氣壓到高真空的抽氣。

EBARA（荏原制作所）是日本*的工業(yè)設(shè)備制造商，成立于1912年，部位于東京。憑借百年技術(shù)積淀，荏原以“為地球環(huán)境和社會基礎(chǔ)設(shè)施提供創(chuàng)新解決方案”為使命，業(yè)務(wù)涵蓋水泵、風(fēng)機(jī)、壓縮機(jī)、環(huán)保設(shè)備及能源系統(tǒng)等領(lǐng)域，產(chǎn)品以高可靠性、節(jié)能性和*技術(shù)聞名全球。
核心業(yè)務(wù)與技術(shù)優(yōu)勢
荏原的核心產(chǎn)品包括：
流體機(jī)械：全球*的水泵及系統(tǒng)解決方案，廣泛應(yīng)用于市政供水、工業(yè)循環(huán)、污水處理等領(lǐng)域，其高效節(jié)能設(shè)計顯著降低碳排放。
環(huán)境工程：提供污泥處理、廢氣凈化等環(huán)保技術(shù)，助力可持續(xù)發(fā)展。
能源設(shè)備：蒸汽輪機(jī)、燃?xì)鈮嚎s機(jī)等產(chǎn)品服務(wù)于石油、化工及新能源產(chǎn)業(yè)。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：高純度真空泵等產(chǎn)品支撐電子行業(yè)精密制造。

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