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首頁 >深圳市京都玉崎電子有限公司> 技術文章> ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵MS120A
ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵MS120A
2025/04/27 17:51:24
特征
- 通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊的表面處理，實現了高耐腐蝕性。
- 螺旋式轉子軸采用的 ULVAC 設計，可提供高粉末排放性能。
- 從大氣壓到極限壓力的整個壓力范圍內均可連續(xù)運行。
應用
-
真空排氣系統(tǒng)
蝕刻設備、灰化設備、電子零件等離子清洗設備、半導體制造設備等。 -
真空熱處理爐、
燒結爐、滲碳爐等真空排氣系統(tǒng)。 -
鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng)
、電極干燥設備、脫氣設備、注液設備等。 -
醫(yī)療及食品相關設備、
冷凍干燥設備、真空干燥設備等的真空排氣系統(tǒng)。
*MS1200A 可配備附加控制板和傳感器。請聯系我們。
規(guī)格
| 模型 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| *抽速*1 | 立方米/小時 | 115 | 560 | 980 |
| 極限壓力 | 爸爸 | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 電源電壓 | 三相，50/60Hz，AC200-240V±10%或三相，50/60Hz，AC380-480V±10% | |||
| 大約功耗*2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷卻水量 | 升/分鐘 | >4.0 | ||
| 吹掃氣體量*1 | 空間光調制器 | 0~50 | ||
|
*水蒸氣處理量 *1*3 |
公斤/小時 | 1.5 | ||
| 噪音等級*2 | 分貝(A) | 61 | 62 | 64 |
| 進氣口 | KF50(臥式) / VG50(立式) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排氣口 | KF40 | |||
| 質量*4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
| 合規(guī)標準 | CE、cTUVus | |||
| 標準配件 | 快速手冊、電源連接器、防水線夾、信號連接器、電源連接器保護罩、消音器套裝 | |||
| 主機選項 |
電源電壓：200V或400V級 密封材料：氟橡膠（FKM）或全氟彈性體（FFKM） |
|||
| 外部選項 | 外殼排氣口、抗震固定支架、LR兼容單元（進氣口、信號）、吹掃氣閥 | |||
*1：代表值
*2：極限壓力
*3：使用吹掃氣體時的*水蒸氣處理能力。
*4: 含消音器
