LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5200C

LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5200C

質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。由于是利用氣體或液體的質(zhì)量對(duì)流量進(jìn)行控制，故不受溫度及壓力的影響，可*地對(duì)流體進(jìn)行控制。質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。當(dāng)氣體流入后，部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器，由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號(hào)比對(duì)設(shè)定的流量信號(hào)，反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度，以此進(jìn)行流量的控制。

質(zhì)流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU)，下流端(Rd)及環(huán)境溫度補(bǔ)慘式質(zhì)流傳感器(RD)所構(gòu)成。當(dāng)氣體未流入時(shí)。供給 Ru及 Rd的電壓是相等的，Ru、Rd與 R 保持一定的溫度，當(dāng)氣體流入時(shí)。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走，造成溫度下降，為維持原本與比的溫差，回路會(huì)產(chǎn)生電力對(duì)Ru及Rd進(jìn)行加溫。

氣體隔膜隔離閩體及驅(qū)動(dòng)裝置，極大地減小閉死容積。這些特殊設(shè)計(jì)，可以增強(qiáng)氣體的流通，降低污染物影響，使設(shè)備具備高澄換性，保證更長(zhǎng)的使用壽命，也更適合于液化氣體等優(yōu)勢(shì)。